产品规格: | 不限 | 产品数量: | 10.00 台 |
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包装说明: | 不限 | 价格说明: | 不限 |
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自动清洗设备:晶圆片在工艺槽之间的移动,通过机械手完成。可实现干进干出,自动上料、自动下料,自动配液、自动补液。全自动多用于工作环境、工艺要求高的工序,以及大尺寸晶圆清洗。 半自动清洗设备:晶圆片花篮在工艺槽之间的移动,通过人工取放;通过彩色触摸屏实现人机沟通交互和完成。可实现工艺参数的设定、修改和储存、清洗过程的实时监控和时显示,工作完成提示、故障报警等。各工艺槽具备一键操作按钮。