产品规格: | CL | 产品数量: | 1.00 台 |
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包装说明: | 行业包装 | 价格说明: | 不限 |
查看人数: | 1537 人 | 本页链接: | https://info.b2b168.com/s168-55030916.html |
公司编号: | 8610141 | 更新时间: | 2024-05-01 13:50:07 |
工作温度: | 400~1280℃ | 炉体长度: | 1800mm |
控制方式: | 移相触发,精度:±2℃ | 工艺管数: | 1-4 |
工艺管口径: | 3-12英寸 |
设备用途:
扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
产品描述:
◆软着陆载片装置 软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。 ◆高精度温度控制 新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。 ◆高性能进口元器件组合 关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质量。
主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆结构型式:卧式热壁型
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆**净工作台:净化等级:100级(万级厂房) 噪音:≤62dB(A) 震动:≤3μm
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
青岛晨立电子有限公司为各大技术院校、试验工程,专业打造试验扩散炉,可根据客户需求定制各种非标扩散炉和扩散炉系统。