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不论是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件,一定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进行装配。真空泵油若与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能,影响真空泵的性能指标。胶圈要擦干净,仔细检查有无缺陷和裂纹,尺寸是否正确,尺寸不对将影响密封。凡是有加热位置的胶圈,每次拆卸清洗时必须换,比如油增压泵各个接口,装配时泵件同样需要轻拿轻放;紧螺丝时用力要均,真空,要从对角紧起。
磁控溅射的种类很多,按所用电源分,可以分为直流磁控溅射、射频磁控溅射、中频磁控溅射。
直流磁控溅射所用的电源是直流高压电源,通常在300~1000V,特点是溅射速率快,造价低,后期维修保养便宜。
射频磁控溅射所用的射频电源的频率通常是13.56MHz,可以解决直流磁控溅射不能溅射绝缘靶材的问题。
中频磁控溅射常用于反应溅射,来制备金属化合物薄膜,在腔体中除了氩气外,另外加入少量反应气体。
沈阳诺思真空技术有限公司(原沈阳天成真空技术有限责任公司)成立于2012年,真空储存,是以**高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。
当泵轴转动时,真空薄膜,工作水下部入口被吸入,并经过分配器从叶轮的流道中喷出,水流以较高速度进入混合室,由于强烈的抽吸作用,在混合室内产生相对压力为3.54kPa的高度真空,这时凝汽器中的汽气混合物,由于压差作用冲开逆止阀,被不断地抽到混合室内,并同工作水一道通过喷射管、喷嘴和扩散管被排出。