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对于一些生产工艺单一,洁净室分散,不能或不宜合为一个系统,或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合,应采用分散式洁净空调系统 [3] ,在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起,自成系统。在分散式洁净空调系统中,在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。 净化空调设备可以是一个定型机组产品,它具有净化功能,但处理的风量较少,往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量,系统处理过程往往是一次回风系统。
洁净空调系统为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数,常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气,以消除洁净室内外各种热湿干扰及尘埃污染。
人们一般按系统内各洁净室的洁净度来命名系统,如称之为100级净化空调系统,1000级净化空调系统等。有时也按系统的末级过滤器的性质来区分,分高效空气净化系统,亚高效空气净化系统和中效空气净化系统。
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