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空气中的微生物无处不在,并常附着在尘埃粒子上,随着尘埃、雾滴及皮屑、毛发等传播。空气中的尘埃粒子越多,附着在尘埃粒子上的机会越大,传播的机会也增加。同样,病毒也会附着在尘粒上并进行传播。因此,控制空气中尘粒的数量就可以控制附着在其上的微生物。
(7)静电之防制。
(8)电磁干扰预防。
(9)安全因素之考虑。
(10)节能之考量。
各种微生物的大小在于0.3µm。病毒是小的微生物,大约在0.005µm以上,其次是立克次氏体。种类很多,多数 在空气中以群体形式存在。常见的大小为5.5~6.5µm,为3.1~3.9µm,采用高效空气过滤器(0.5µm,过滤效率≥99.9%)基本 上可将它们除去。
洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间 我们称之为洁净室。
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