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SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。
SEMI认证流程大体为递交技术资料和认证申请、确认标准及报价、准备资料,样品及测试费用、收到样品后准备测试计划、测试,如不通过则进行产品修改、、审核并出具证书。
SEMI S2的范围适用于用于制造,测量,组装和测试半导体产品的设备,这是一个总体标准,因此它包含与该设备的产品安全有关的所有内容。
SEMI(半导体设备与材料的国际性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的*的规格要求。
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