常州真空计 真空规管 真空计保养

昆山熙日机械设备有限公司

PGE050 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼仪表增强型 050 (PGE050) 是主动对流增强型皮拉尼仪表 PGE300 和 PGE500 的被动版本。PEG050 采用相同的传感器技术，与 VGC031 和 VGC083 被动仪表控制器装置结合，可在 100 至 1000 mbar 的测量范围内获得相同的高准确度读数。由于测量范围更广且准确度更高（尤其是在低压条件下），因此 PGE050 是替代真空系统中的热电偶仪表时的。坚固的仪表和传感器设计使 PGE050 成为高/低拥有成本的选择，并且使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。
应用
前级真空测量
真空系统
电离真空计连锁应用
一般真空应用

Granville-Phillips 385 Convectorn ATM模块是一个真空计，该直空计将压阻式隔膜与经过验证的Convectron传感器相结，提供从低真空到大气压力范围内的连续测量，并且相对压力测量可以在所设定的压力点由设**继电器激活开始工作。

宽范围电源
两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)

特点
复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼，5 X 10-9 mbar 至大气压的较宽测量范围，倒磁控管没有灯丝，不会出现丝较烧毁的现象，的点火属性，易清洗，FPM 或金属密封馈入装置，LED 指示器，高压时亮起
对数模拟输出信号
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程