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氦质谱检漏仪的构成
氦质谱仪电气部分的核心是质谱室的供电和测量,氦质谱检漏仪,其他部分包括真空系统的电源与控制部分,操纵面板及输出仪表等。主要含有小电流放大器及输出装置、低频发生器、高压整流器及发射电流稳定装置、高压整流器供给冷阴极磁控规电源。在氦质谱仪检漏技术中,根据被检件的结构,尺寸要求和具体的检漏条件,设置具有预抽被检件、保证检漏仪工作真空度、气体分流、缩短反应时间和清除时间、降低对灵敏度的不良影响等功能的辅助真空系统,在某些条件下是非常必要的。
氦质谱检漏仪示踪气体选择
对示踪气体的要求:氦质谱检漏仪都用氦气(He)作为示踪气体,也有用氢气(H2)作为示踪气体的质谱检漏仪器。
氢和氦都是比较理想的示踪气体:空气中的含量少,质量轻,氦质谱检漏仪厂家,运动速度快,同等条件下,直线运动距离长。实际使用中,正压氦质谱检漏仪生产厂家,也相对比较容易获取,氦质谱检漏仪公司,可以大量使用。但氢气在使用中有一定的安全问题,所以实际大部分检漏使用的是氦气。质谱检漏仪器示踪气体一般具有以下特点:
1、无害,不能对人体或环境造成伤害。
2、质量轻,惰性气体,能穿透微小细缝。
3、化学性质稳定,不会起化学反应。
4、Z好是只有在空气中含量尽可能少的气体,才能满足检漏灵敏度方面的要求。
氦质谱检漏仪是如何工作的?
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束,并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有一定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集较K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束(如图中M1,M3)则以不同的偏转半径而被分开。