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微纳钻孔,微纳制造技术是指尺度为毫米、微米和纳米量级的零件,以及由这些零件构成的部件或系统的设计、加工、组装、集成与应用技术。传统“宏”机械制造技术已不能满足这些“微”机械和“微”系统的高精度制造和装配加工要求,必须研究和应用微纳制造的技术与方法。微纳制造技术是微传感器、微执行器、微结构和功能微纳系统制造的基本手段和重要基础。
微纳钻孔过程是激光和物质相互作用的热物理过程,它是由激光光束特性(包括激光的波长、脉冲宽度、光束发散角、聚焦状态等)和物质的诸多热物理特性决定的。
微纳钻孔随着近代工业和科学技术的*发展,使用硬度大、熔点高的材料越来越多,而传统的加工方法已不能满足某些工艺要求。与常规打孔手段相比,具有以下显著的优点:
1、微纳钻孔速度快,效率高,经济效益好;
2、微纳钻孔可获得大的深径比;
3、微纳钻孔可在硬、脆、软等各类材料上进行;
4、微纳钻孔无工具损耗;
5、微纳钻孔适合于数量多、高密度的群孔加工;
6、用微纳钻孔可在难加工材料倾斜面上加工小孔。
微纳钻孔由于二氧化碳激光器的对焦、调光都不方便,设备一次性投资也比较大,在微纳钻孔设备中不及其他三种激光器应用普遍。固体激光器以其特的优点在激光打孔中得到广泛的应用。它的主要优点是:
1、输出波长短;
2、输出的光可用普通的光学材料传递;
3、整机体积小,使用维护方便,价格低于二氧化碳激光器。
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