Matesy传感器

赫尔纳贸易（大连）有限公司

关键词：Matesy传感器

技术文章：

Matesy传感器图层属性

溅射气体的分压或磁场可影响气体成分的变化，气体成分的变化不影响层的厚度，而且影响层的成分。因此，对于层厚度的校正，对磁场的控制和调节提出了质疑！

Matesy传感器m-cat系统通过表征管状磁控管，有助于控制溅射系统中的磁性成分。除了对磁场配置进行的测量和分析之外，m-cat系统还为可调磁控管提供了帮助，无论制造商是谁。另外，确定磁控管的几何形状（偏转）以无故障运行。

Matesy传感器通过使用m-cat，您可以增加

性高，因为可以对新的磁控管进行接收检查，并且可以早，地检测出有缺陷的磁控管。

由于可以以可控的方式设置可调磁控管或可以*地组合合适的磁控管，因此可以实现层厚度的均匀性。

可以避免靶材的寿命，因为可以避免溅射成本高昂的靶材。

 Matesy传感器特性

采集完整的磁场轮廓

1分钟内完成测量

磁控管偏转的几何识别

长度从.4-4. m

提供用于圆形阴和平面阴磁控管的系统

对测量任务的适应性

可选地可以在目标中测量

可以记录可选的目标参数（直径，偏转）

该系统可以在现有的制造过程中实施

高可用性

m-cat测量单元

磁参数

磁场配置：33个通道（X，Y，Z）+/- 1

检测和磁场强度

磁控管偏转的几何识别

可修剪磁控管的修整辅助功能

野外历程的图形表示

Matesy传感器磁控管的几何形状（磁性功能部件的位置）：+/- .1 mm

目标的几何形状（直径，偏转）：+/- .1毫米

可以记录可选的目标参数（直径，偏转）

具有生命周期管理，视图和设置选项的软件

具有CSV格式的单个测量系列的HSE和导出功能