LTG-680型半导体晶园片厚度非接触激光检测仪

LTG-680型半导体晶园片厚度非接触激光检测仪

一、前言

自60年代激光产生以后，其高方向性和高亮度的优越性就一直吸引着人们不断探索它在各方面的应用，

其中，工业生产中的非接触、在线测量是非常重要的应用领域，它可以完成许多用接触式测量手段无法

完成的检测任务。普通的光学测量在大地测绘、建筑工程方面有悠久的应用历史，其中距离测量就是利用

几何学的三角测量。在80年代末90年代初，人们开始将激光与三角测量的原理相结合，形成了激光三角测距

仪。与建筑工程中使用的长距离激光相位法测距仪相比，激光三角测距仪的优点是精度高，不需要使用反射

镜作为对准目标，即激光直接照射在被测物体表面，且不受被测物的材料、质地、型状、反射率的限制，

从白色到黑色，从金属到陶瓷、塑料都可以测量，没有放射性物质，操作安全，因此，在制造业中，

绝大多数场合的短距离精密测距，以及由测距转化的测厚、测位置等需求都是可以满足的！

LTG-680激光测厚仪是一种采用双路激光三角测距原理进行薄膜、薄板厚度非接触

在线测厚的精密仪器，可替代各种射线测厚仪，避免射线对操作人员的伤害。

目前企业中实际使用的板厚测量技术有卡尺、超声波法测厚仪、电涡流法测厚仪、放射线法测厚仪

，其中卡尺、超声波法测厚仪是操作人员手工接触板材进行测量，故只能等轧制完成后停在传输

线上才能进行，因此是非在线测量；电涡流法测厚仪由于受板材表面干净程度和表面化学杂质影

响很大，因此误差很大；放射线法测厚仪在过去曾应用较广，但因存在射线对操作工人的健康危害

，导致白血病、癌症等职业疾病，因此，这些企业多已将放射线法测厚仪拆下、不用了。

三、典型应用

半导体薄片材料的厚度检测；压延冷轧钢板;压延冷轧铝箔;压延冷轧铜箔;压延挤出塑料板;木材和木屑板

中密度纤维板、高密度纤维板、定向刨花板;石膏板;无纺布，熔喷布

橡胶板，防水防火卷材，纳米硅锂电池。

典型应用及其精度

四、软件主要功能

1、屏幕显示：

* 软件界面直观，中英文可切换，操作简单方便，并可标定保存多种产品检测参数，用户可以根据生产材质灵活切换。

* 具备扫描测量和**测量（纵向扫描）功能。根据系统扫描测量或**测量的工作模式，采集、显示并存储被测材料厚度的横向分布曲线或纵向分布曲线的当前值、大值、小值、平均值、标准差等；联人（垫）：壹叁陆伍贰叁壹壹陆零壹 谢谢!!

* 显示并存储检测值、趋势图、分布图、当前曲线、历史曲线、多轮廓图等；

* 参数修改画面显示组态参数，并可修改参数；

* 显示系统工作状态和故障类型。

2、同材质、同厚度的只需标定一次，长期有效（自动存储，随时可调用）。

3、系统故障的自动检测、显示和处理。

4、扫描控制器可由手动或自动方式来控制传感器运动，手动方式是由手动按钮来控制探测器的前进、后退等，自动方式是由计算机来控制传感器运动。

5、实时在线检测产品厚度（），方便调节，具备厚度**差自动报警功能，从而做到对产品厚度（）**的掌控。

6、自动生成、存储报告。报告可调阅、打印、上传。内容至少包括：产品名称、标号、生产日期、长、平均值、大值、小值、标准差等。

7、提供打印机接口，兼容市场主流打印机。

8、故障远程诊断及处理功能。

9、采用TCP/IP通讯方式。