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电子特气系统的维护

由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。

（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，高纯供气系统公司，负压保压30分钟以上，确保气柜各管路与阀门吹扫干净。

（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（N2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。

以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12PSI，陕西高纯供气系统，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（PT）受温度的影响，一般有2PSI的正负波动。

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氦质谱检漏仪

真空检漏的方法很多，氦质谱检漏仪的使用大大提升了检漏工作效率。

漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、较其微小的空洞或间隙。大气通过其进入真空系统或容器中；

漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；

1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；

检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；

反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；

消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；

漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。

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高纯供气系统

气瓶柜的技术要求为铝型35×35框架，柜门、侧板采用金属冷轧板，均用环氧树脂粉沫喷涂，高纯供气系统价格，内设可活动的气瓶抱箍，便于气瓶的更换和移动。地脚为不锈钢螺丝、尼龙罩盖、橡胶底座组合结构，可调节高度为0—0.3m。配置了气体泄漏报警、温度数字指示、气体泄露时自动排放。具有防爆、阻燃等功能。实验室应按照房间大小比例设计相应数量带逆风阀的换气扇，使空气流通顺畅，保持清洁。每个房间都要设计带有过滤装置的通气孔，如果是带有室内走廊的房间也可在门窗上设百叶窗，尺寸按照排气量比例关系计算。

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