Fe203：2-5%Ti02：0.5-1%AI203：10-15%Ca0：2-5%K20：2-5%
采用I-CAL软件算法，在10-9至10-12mbar-l/s范围内快速测量，节省时间
使用I-ZERO 2.0进行较有效的检漏，其改进的智能功能可在保持高测量灵敏度的同时进行快速背景抑制
适用于真空和吸尘器检漏
通过快空和响应时间，较大限度地减少检漏工作
纤细的设计，易于操作，节省时间
坚固的离子源（3年保修）和逆流真空系统使总拥有成本（TCO）较低
逆流式真空系统
易于使用，由操作员指导的人机界面，带有全彩高分辨率可旋转显示器
UL3000 Fab ULTRA：由于HYDRO-S软件了水蒸气背景，使其有可能迅速达到敏感的测量范围，从而更早开始检漏。
UL3000 Fab ULTRA: 由于更高的空气泵送速度，更快的泵降（排空）时间
根部泵的速度更快
UL3000 Fab ULTRA: 由于根部泵的低维护率，总拥有成本（TCO）更低。粗加工泵。
UL3000 Fab ULTRA：通过使用久经考验的吸污管线SL3000，该检漏仪还提供了改进的吸污能力，其长度可达10米。SL3000有一个单独的连接端口，因此不需要连接到真空入口。
典型应用
半导体工厂
平板显示器制造
太阳能电池的制造
玻璃和卷材（卷对卷）镀膜
一般真空镀膜和应用
规格
UL3000 Fab
UL3000 FabUL3000 Fab ULTRA
| 粗加工泵的较大泵送速度 | m³/h | >30 |
| 氦气抽吸速度（高敏感模式ULTRA）。 | L/s | 4 |
| 尺寸（长x宽x高） | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| 附加功能 | 具有较高抽气速度的罗茨干泵，HYDRO-S，用于SL3000的独立吸气管口，真空软管支架 | |
零件编号
附件
易耗品
| 550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
| 550-200 | UL3000 Fab |
