简介
Jordan Valley公司zui新设计的Delta-X是多功能的X射线衍射设备,可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制。Delta-X衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控,并采用水平式样品台。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换。光学配置的切换完全在菜单式程序控制下由计算机完成,*手动操作。自动化切换和准直不需要专门人员和操作设备,并确保每次切换都能达到的光学准直状态。
常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪,实现部分、乃至完全的自动化运行,自动化测量程序可以依客户需求进行专门定制。也可采用完全的手动模式操作Delta-X衍射仪,以便发展新测量方法,研究新材料体系。
数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分,可实现完全自动化,也可依据需要单独进行数据分析。 依半导体生产线的需求,将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行,允许在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析,并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单独安装,以便进行更详细的数据分析。
Delta-X衍射仪能满足科学研究所和技术开发中心 不同材料体系的*测试需求。
Delta-X 衍射仪的主要特点和优势
n 自动化进行样品准直、测试、和数据分析
n 客户可以自行设定测量的自动化程度
n 300mm的欧拉环支架(Eulerian Cradle)设计,高精度的样品定位和扫描
n 300mm的晶片水平式放置,且可以完整mapping
n 100º的Chi轴倾转范围、无限制范围的Phi轴旋转空间,可实现较图和残余应力测试
n 智能化的光学配置切换和准直。依测量需要,自动选择光学配置并实施光学准直
n 工业的设备控制软件和数据分析软件
n 高分辨率测角仪,以保证精密且准确的测量
n 高强度的光源台设计和光学元件组合,以实现快速测量
n 多方面广泛的测试技术和测量参数
n 由拥有**过30年的高分辨率X射线衍射经验的设计、制造,具有**客户经验。
Delta-X衍射仪的特点和优势
自动化控制的光学系统:
Delta-X衍射仪的入射束包括多种标准的光学配置模式,以便使光学配置具有充分的灵活性,且易于操作。可以依据测量样品的材料类型,选择参考晶体。