- 2023-06-04 00:06 240
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德国centrotherm 卧式高温炉 E1200
- 相关产品：
卧式热反应系统
一、 产品简介
E1200型卧式热反应系统是由德国centrotherm公司研制的特为研发、小批量生产用热反应系统。具有小体积、高工艺性能等特点
可用作常压CVD、LPCVD、PECVD、扩散、氧化、退火等工艺过程，以优良的品质、较小的体积、低成本的特点，特别适合低产量、多工艺适应性加工要求的研发或小批量生产。
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二、 工艺特性
l 常压工艺
l LPCVD工艺
l PECVD工艺
三、 产品特性
● 较多可搭配4组石英管或碳化硅管反应炉；
● 清洁的自动载舟系统；
● 反应炉独立控制提供了优质的小批量或复杂工艺能力；
● 先进的水冷却系统设计杜绝反应炉的温度干扰不耗用洁净室空气；
设备参数：
反应炉使用晶片尺寸：150mm（较多50片）或200mm（较多25片）
加热系统：3组300mm恒温区，温差0.5℃；
温控范围：200℃～1300℃；
联系手机是18263262536, 主要经营光刻机、原子力显微镜、白光干涉仪、半导体设备。
单位注册资金单位注册资金人民币 1000 - 5000 万元。
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