Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC概述

北京汉达森机械技术有限公司

 1、 Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC概述

LEYSPEC 残余气体分析仪 （RGA） 产品系列可实现简单直观的操作。

只需按一下按钮，您就可以显示关键气体的分压，如果您的工艺涉及额外的气体，您可以将其分配给备用显示通道。

由于可实现的高烘烤温度，LEYSPEC 非常适合用于要求苛刻的高真空和**高真空应用。

2、Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC加工原则

测量池是热阴极电离真空计。电子从热丝发射，并通过电偏置加速到源头。快速移动的电子与气体分子碰撞，使电子移位，从而使它们电离。正气体离子将其电流提供给负负载的离子收集器。离子电流与压力成正比。离子越多，离子电流越高。四较杆阵列由四根不锈钢棒组成。直流和高频电压施加到所有杆上。这会产生复杂的磁场。通过改变电压，磁场得到控制。

由此产生的振动仅允许特定质量的离子“飞过"它并到达检测部分：

具有适当质荷比（m / e）的离子将以稳定的三维轨迹通过两较振荡。

不正确的m/e离子将失控振荡并与两较碰撞

离子到达离子收集器并提供输出电流，该电流是通过过滤器的离子相对丰度的量度。然后，离子电流或分压相对于m/z比显示在装置或软件中。

移动式残余分析仪系统

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC推车带有集成的差动泵系统，具有较大的灵活性和易于操作。

它是一个独立的泵送系统，可轻松适应各种测量任务，在各种压力下具有快速的运行准备和可操作性。

Leybold解决方案：

配备 SCROLLVAC 7 plus 和 TURBOVAC 350 i 的独立泵送系统 

集成过程控制，操作快速简便

简单直观的莱特格 RGA 软件

集成在可独立移动的推车中

特高压针阀，可在不同压力水平直至大气压下灵活运行

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC紧凑且简单

所有产品均配有集成显示屏，操作简单快捷，LEYSPEC软件则用于复杂的测试程序和残余气体分析。LEYSPEC产品系列尺寸紧凑，可安装在任何方向，非常适合不同的内置情况。

由于界面直观，LEYSPEC残余气体非常易于操作。只需按一下按钮，您就可以显示关键气体的分压，如果您的工艺涉及额外的气体，您可以将其分配给备用显示通道

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC直观的软件

智能直观的莱特软件完善了产品。用户友好的界面允许广泛的用例，从简单的操作到复杂的分析。创建食谱非常简单：快速方便。

在操作过程中，将显示总压力，并可以选择不同的视图来适应视图以进行分析。在扫描模式、趋势模式或模拟模式之间进行选择

Leybold 残余气体分析仪LEYSPEC高级功能

预安装的软件功能允许许多附加功能和测试程序，例如氦气泄漏测试或为可选气体设置警告和错误级别。实现了可编程脱气功能，用于启动或暴露在大气中的简单工艺脱气。背景抑制允许聚焦在重要的峰值上。