xrf荧光光谱分析仪原理10um

苏州实谱仪器有限公司

多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍，多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
产品配置及技术指标说明
X 射线光管：50KV ，1mA 钼钯
检测系统：FAST SDD 探测器
检测元素范围：Al ( 13) ~ U(92)
应用程序语言：英／中
测量原理：能量色散X射线分析
分辨率：125±5eV
焦斑直径：15μm
 分析方法：FP/校准曲线，吸收，荧光
样品移动距离：可设置

多导毛细管技术，轻松应对**小测量点薄涂层和薄涂层的测量分析，在柔性电路板、芯片封装环节、晶圆微区的镀层厚度和成分自动测试分析中尽显优势主要利用X射线全反射原理，从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向，从而实现X射线汇聚，同时将X射线的强度增加2～3个数量级

在高集成光路系统的基础上，搭配多导毛细管 实现小面积或薄镀层的高速、、稳定的测量，聚焦直径可小至10μm，可产生比准直器机构强千倍的信号强度多导毛细管将激发光束高强度的集中在一个的小光斑上，从而显著缩短测量时间， 在测量纳米级Au厚度或薄膜层厚度及成分时，满足微小光斑、短测量时间的同时，测量效果接近

X射线激发由上往下，采用Mo靶，铜管体的光管，
大窗口的SDD硅漂移探测器
XY轴程控控制，程控移动
 焦距可变
 高倍放大的高清CCD
 开槽式样品台
多级密码设置可给予不同的管理权限
毛细管镀层分析产品特点：
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm，同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机：千倍放大*对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm
5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统