石嘴山真空规 准确度高 整机体积小巧

昆山熙日机械设备有限公司

SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 压力计是实现高总压测量与控制的理想之选。CDG045D 真空计温度控制在 45 °C，具有的信号稳定性和可重复性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的线性压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的真空应用。

应用

任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。

对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。

WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。

特点

复合真空计 – 冷阴极和皮拉尼，5 X 10-9 mbar 至大气压的较宽测量范围，倒磁控管没有灯丝，不会出现丝较烧毁的现象，的点火属性，易清洗，FPM 或金属密封馈入装置，LED 指示器，高压时亮起

对数模拟输出信号

皮拉尼真空计

INFICON 皮拉尼真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S,采用的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于各类真空系统.

VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极

应用实例

铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。

挑战

工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。

解决方案

采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。

应用领域

分析仪器

镀膜

对高真空和**高真空应用的控制

溅射工艺

工艺工程