海北真空规

昆山熙日机械设备有限公司

VSA100A 环境压差
 INFICON 真空开关 VSA100A 作为安全开关广泛应用于真空系统中。例如，在使用压力低于大气压 6 mbar 的吹扫气体对真空系统排气时，该压力开关可自动中断气体供应。当差压为 6 mbar 且返回切换压力比大气压低 3 mbar 时，弹性膜片将激活转换接点，而该接点又可用来直接切换任何设备。
特点
测量范围宽，为 1333 至 3 x 10-4 mbar（1000 至 2.3 x 10-4 Torr）
对流技术的使用可确保测量精度一致（通常为 ±15%）并且可重复 (±5%)，达到该领域水平
低运行成本
提供可更换的管件

Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压，并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。

通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流，延长了维修间隔和真空计寿命
结构较为紧凑，采用凹进式电气接头
易于维修；皮拉尼和磁控管元件均可以单更换
综合性故障模式诊断装置

Pfeiffer Active 系列真空计
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试