宁波粉末粒径大小检测 SEM微观结构检测

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1  SEM 的工作原理及特点
       扫描电子显微镜(Scanning ElectronMicroscope) ，简称SEM，是一种大型的器，是20世纪30年代中期发展起来的一种新型电镜，是一种多功能的电子显微器，主要功能是对固态物质的形貌显微分析和对常规成分的微区分析，广泛应用于化工、材料、医药、生物、矿产、**等领域。

图1 JSM-6700F场发射扫描电镜

图2 扫描电子显微镜结构图

      扫描电镜所能显示各种图像的依据是电子与物质的相互作用，当高能入射电子束轰击样品表面，由于入射电子束与样品间的相互作用，将有99%以上的入射电子能量转变成样品热能。约1%的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，包括二次电子、透射电子、俄歇电子、X射线等不同的信息，反映样品本身不同的物理化学性质，而SEM的功能就是根据不同信息产生的机理采用不同的信息检测器，以实现选择检测扫描电镜的图像。
       扫描电子显微镜相对于光学显微镜、透射电子显微镜有些较有价值的特点。
      首先，它能在很大的放大倍数范围工作，从几倍到几十万倍，相当于从光学放大镜到透射电镜的放大范围，并且具有较高的分辨率，可达1～3nm; 其次，它具有很大的焦深，300倍于光学显微镜，因而对于复杂而粗糙的样品表面，仍可得到清晰聚焦的图像，图像立体感强，易于分析;再次，样品制备简单，对于矿物、材料等样品仅需要简单的清洁、镀膜即可观察，并且对样品的尺寸要求很低，操作十分简单。
2  SEM 在矿物学领域中的应用
2.1 在矿物物相研究方面
      不同矿物在扫描电镜中会呈现出其特征的形貌，这是在扫描电镜中鉴定矿物的重要依据。如高岭石在扫描电镜中常呈假六方片状、假六方板状、假六方似板状;埃洛石常呈管状、长管状、圆球状; 蒙脱石为卷曲的薄片状;绿泥石单晶呈六角板状，集合体呈叶片状堆积或定向排列等。 

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