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任何真空泵都有不足之处,涡轮分子泵也不例外。那么涡轮分子泵它的缺点:(1) 设备费用高;(2) 对颗粒物或沉积物敏感;(3) 噪音与振动;(4) 破碎问题;(5) 暴露大气易引起事故
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分子泵输送气体应满足二个必要条件:1). 涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度
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涡轮分子泵的工作特性主要表现在以下几个方面:压缩比与阶段压力之间的关系泵选择机械泵作为前级泵。当当前级压力满足一定要求时,分子泵稳定工作,大阪分子泵TG3410供应,减压比保持恒定。当当前级压力升至1Pa时,珠海大阪分子泵,子压缩比开始降低,而当当前级压力升至数十帕斯卡时,压缩比急剧下降,分子泵无法正常工作。
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