发货地址:江苏苏州昆山市
信息编号:294545406,公司编号:3889230
产品规格:不限
产品数量:9999.00 个
包装说明:不限
产品单价:面议
官方网址:http://nokgs.cn.b2b168.com/
一、测量背景:
客户想知道晶圆的平面度,因产品的特性和客户要求,选择非接触式测试,需要保持前后测试时坐标一致,我们需要编程保持测试点位一致
二、测试方案:
利用非接触式影像设备对放置好的晶圆进行编程,测试。如图(1)
三、测试过程:
因此产品几乎为圆形,我们选用影像设备镭射取点,因测试中需要取点比较多,单个取点比较浪费时间,我们编程时可以用循环,节省编程时间,如图(2)(3)
图(1) 图(2)
2.由于迭代中所给的基准是在机械坐标系下的,故导入的3D档好是初始位置,如图(2)摆放测试。
3.测试结果
如下图所示为平面度的测试结果以及平面度的点位分析图
四、测试结论:
已将测试结果反馈给客户