全自动晶圆花篮超声波清洗设备

深圳市科圣达超声波自动化设备有限公司

全自动晶圆花篮超声波清洗设备造型美观大方，操作简单，清洗效率高，质量效果好，适应大批量生产使用。对于工艺管理使用配方方式，方便于各个参数的输入与管理，并可在设备中设计保护功能来确保操作人员及设备的。本机电控部分均采用进口件，性能，设备具有清洗速度快、生产效率高、清洗效果好、使用方便、外形美观、结构合理、使用寿命长等特点，是晶圆盒行业的理想清洗设备。

全自动晶圆花篮超声波清洗设备特点：

清洗过程由人员控制，设备清洗由1个超声波洗剂槽、3个超声波纯水漂洗槽、及一个离心热风甩干槽。其工作原理是利用超声波渗透力强的机械振动力冲击工件表面并结合清洗剂的化学去污、除油作用使工件表面干净。工作过程是由操作者将装有工件的清洗篮放入清洗槽，再由操作者同时送入各个工序段，对工件进行超声波清洗，超声波热水漂洗后出料取出工件。

全自动晶圆花篮超声波清洗设备多频率超声覆盖去除不同微米级颗粒。 

结合涌流清洗，使细微颗粒与工件分离。

夹持式机械手传动，定位，运行稳定。

PLC自动控制，自动化程序高

全自动晶圆花篮超声波清洗设备换能器电声转化效率高达 以上。

自动追频精度1Hz，接近水平。

自带分频扫频功能，频率可切换。 

支持485通讯和PLC远端控制（可选）。

配备漂洗电阻率监控系统，检测漂洗DI水水质。

全自动晶圆花篮超声波清洗设备风风切+超长红外热风循环干燥系统。

PLC控制系统，中/英文操作界面，程序方便设置，改，存储和调用。

SUS304不锈钢机身，管道及零部件，耐温，耐酸性、碱性等清洗液。

可与前后设备连接，组成自动清洗线。

全自动晶圆花篮超声波清洗设备清洗液浓度监测等多种选配配置。

外观半透明，易观察槽内试剂情况；

耐高低温：-200～+260℃

全自动晶圆花篮超声波清洗设备耐腐蚀：耐强酸、强碱、王水、HF和各种溶剂；

耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；

防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；

低的溶出和析出，不会污染实验器皿等；

全自动晶圆花篮超声波清洗设备化学性能稳定，可恢复性好，不易变形；

特氟龙塑料，经久，不易碎。