SZ61立体显微镜,显微镜,思贝舒

MX51 工业检测显微镜
产品特点:
? 紧凑的设计实现较小的占地空间
? 镜臂部分和镜体分开 MX51工业检测显微镜， 使高的样品观察成为可能
? 标配158×158mm手动移动载物台(较大可用于200mm晶圆检查)
? 选配长工作距离物镜， 较大方便磁头检查
? 采用防静电设计，较大方便磁头检查
? 提高系统灵活性和操作舒适性，满足SEMI S2/S8标准

MX51详细规格:

光学系统		UIS2光学系统（无限远校正光学系统）
显微镜镜体		Z轴同轴粗微调调焦 MX61L半导体检查显微镜，载物台行程范围：32 mm（从焦面上行2 mm和下行30 mm）行程相同：15 mm（配合透射光照明）Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1 mm（1个单位1 μm）调焦机构张力可调有调焦上限位机构

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型号

MM60

光学系统

无限远校正光学系统

显微镜镜体

照明装置

反射/透射光转换

内装3.3W 白光**命LED光源 显微镜，光亮可连续调节

调焦

行程为:35mm

同轴粗微调 SZ61立体显微镜，微调较小刻度1微米，

含三级调焦机构:微调，粗调及张力调节环.；

观察筒

宽视野(视野数为22)

正置式 三目镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口

进口观察筒.普通视野(视野数为20)

日本OLYMPUS原装三目观察镜筒 倾角30° 带Ｃ型数码接口

物镜转盘

明视场用

内置5孔明视场物镜转盘

载物台

带左(右)手同轴驱动旋转的载物台:100(x)X105(y)mm

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