供应制冷剂 四氟化碳） 厂家低价直销

 产 品 说 明 				
四氟化碳 				
"用途：
四氟化碳是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体，其高纯气及高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。"				
物理性质				
分子式		CF4		
分子量		88		
沸点		-128.1℃ 		
临界温度		-45.67℃ 		
临界压力		3.74Mpa		
破坏臭氧潜能值 /ODP		0		
**变暖系数值 /GWP		1700		
质量指标				
外观		无色，不浑浊		
气味		无异臭		
纯度		≧99.90%		
水份		 ≤5ppm		
，%（v/v） 		≤0.03		
氧气，%（v/v）		 ≤0.01		
		≤10ppm		
氟化碳		 ≤20ppm		
酸度		 ≤0.1ppm		
包装规格				
可重复充装钢瓶10L、40L