TESCAN 扫描电子显微镜

上海友越电气有限公司

作为科学仪器的**供应商之一，TESCAN正为其在设计、研发和制造扫描电子显微镜及扫描电子显微镜在不同领域的应用方面树立良好的声誉和品牌。

TESCAN公司专注于研究、研发和制造科学仪器及其相关科学产品，主要产品如下：

• 扫描电子显微镜（SEM）
• SEM相关的附件产品
• 光学仪器数字图像处理系统
• 按照客户要求制造真空室
• 探测系统
• 科学仪器硬件与软件

主要产品介绍

VEGA3-钨灯丝扫描电镜系列

经过12年不断的发展，VEGA系列已经推出了成熟的*3代产品。VEGA3*特的层次结构设计，使得其在没**械合轴部件的情况下，能够完全自动化地进行镜筒的设置和校准。从始至终，VEGA系列电镜的设计制造都紧紧围绕为样品提供较佳的分析备件，获得更高质量的图像。圆锥形的物镜，样品室内设计的精细考虑，高精度特制样品台以及可选配的多种探测器和辅助配件，所有这些都使得VEGA扫描电镜成为一个多功能的分析工具

MIRA3-场发射扫描电镜系列

MIRA的新一代扫描电镜采用了高分辨率的肖特基电子枪。MIRA为用户提供了较*的技术，例如新改良的可以更快采集图像的高性能电子产品，能提供静态和动态图像补偿或者用户自定义应用内置脚本的**快速扫描系统。而同时MIRA还保持了较佳的性价比。
自从2012年MIRA问世以来，TESCAN生产的所有高品质扫描电镜都基于一种场发射电子枪，这种电子枪可以选配包括电子减速技术在内的多种功能。

LYRA3-聚焦离子束系列

对有需求的用户来说，LYRA3聚焦离子束系列是将FIB和SEM**结合的产品。它是基于一个场发射电镜以及一个高性能聚焦离子束。LYRA3系列是为了满足广泛的FIB-SEM应用以及当今研究和产业的需要而设计的。它在高束流下的高分辨率在X射线能谱（EDS）、X射线波谱（WDS）、电子背散射衍射（EBSD）、以及3D断层扫描等分析应用中被证明十分有效。其功能强大的软件使得TESCAN的聚焦离子束系列在电子/离子光刻、透射电镜样品制备等方面也非常有用。

FERA3-等离子源聚焦离子束系列

世界**完全集成氙等离子源聚焦离子束，能够获得高达2uA的离子束，因此提高了溅射速率。相比于现有的Ga聚焦离子源技术，采用等离子体源的聚焦离子束对硅材料的切割速率可以提高50倍。基于些特点，FERA3非常适合于需要去除较大体积材料的应用，特别是在广泛使用TSV技术的半导体封装领域。采用氙等离子束技术，FERA3能够满足高分辨率FIB的要求，其主要是为了得到**快材料去除所需的高速离子流。这预示着FERA3可以实现长久以来不可能完成的大尺寸的样品加工。

电子和聚焦离子束的集成使得FERA3 FIB-SEM能够为终端用户提供电子束分析和特性描述。通常，这种类型的系统不仅仅可以在材料科学、研究和法医调查方面得到应用，更主要的是应用于半导体工业中的三维测量、缺陷和故障分析或者微机电系统（MEMS）的设计。

RISE-拉曼光谱-扫描电镜

RISE是世界上首台拉曼光谱和扫描电镜联用系统。无论您是怎样的客户，RISE 都适合您

作为新的拉曼光谱用户，你将会受益于它的易用性和直观的测量过程。
作为一个有经验的用户，你将会欣赏相关的显微镜性能与两种技术结合的优势。
无论是哪个领域工作，RISE显微镜都会给你提供*特的成像能力

应用领域：石墨烯产业、碳材料领域、材料科学，纳米技术，高分子材料科学，地质学，生命科学，制药工程等等…