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罗茨泵－水环泵－大气泵机组：即使采用双级水环泵，真空机组定制，极限真空度的提高也只是在一定的范围之内，这是因为受到水的饱和蒸汽压的限制。水环泵的理论极限压力就是水的饱和蒸汽压。如果考虑气体返流等因素的影响，实际上水环泵的极限压力显著比该水温上的饱和蒸汽压力为高。为了提高前级泵的极限真空度，还可以使水环泵与大气泵组合使用。这样，串联一级大气泵后的极限真空度可达20~30Torr，如果水环泵与二级大气泵组合，则极限真空可达2~10Torr。

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所谓水环泵就是用水作为液环的液环泵，真空机组生产商，用水作液环有很多优点，真空机组制造商，如**、易得、不会污染环境等。但也有一个很大缺点，由于水的饱和蒸汽压高，使得水环泵的吸入压力也高。这时如改用饱和蒸汽压低的液体作为液环，则可提高泵的极限真空度。如果某真空机组中罗茨泵zui大允许的排气压力为10Torr，则用水作液环时还须加大气泵才能作为该罗茨泵的前级泵，若改用矿物油作液环则不加大气泵即可作为前级泵，这样可以简化装置。

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