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洁净车间如何对湿度进行控制的
实际上,相对湿度和温度对于光刻胶稳定性以及尺寸控制都是很关键的。甚至是在恒温条件下,光刻胶的粘性将随着相对湿度的上升而*下降。当然,改变粘性,就会改变由固定组分涂层形成的保护膜的厚度。相对湿度的3%的变异将使保护厚度改变59.2A。此外,在高的相对湿度环境下,由于水分的吸收,使烘烤循环后光刻胶膨胀加重。光刻胶附着力同样也可以受到较高的相对湿度的负面影响;较低的相对湿度(约30%)使光刻胶附着更加*,甚至不需要聚合改性剂,如六甲基二硅氮烷(HMDS)。
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乱流洁净车间的原理
乱流洁净车间的主要特点是从来流到出流(从送风口到回风口)之间气流的流通截面是变化的,洁净室截面比送风口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作区截面形成匀速气流。所以,送风口以后的流线彼此有很大或者越来越大的夹角,曲率半径很小,气流在室内不可能以单一方向流动,将会彼此撞击,将有回流、旋涡产生。这就决定乱流洁净室的流态实质是:突变流;非均匀流。
这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数,也就是主要受流速的影响,无尘车间洁净室,但是如果采用一个高效过滤器**送的送风形式,则即使流速较低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
所以,概括地说,乱流洁净车间的作用原理是:当一股干净气流从送风口送入室内时,车间洁净室,*向四周扩散、混合,同时把差不多同样数量的气流从回风口排走,这股干净气流稀释着室内污染的空气,把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了,车间洁净室造价,一直达到平衡。所以气流扩散得越快,越均匀,制药车间洁净室,稀释的技果就越好。
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