产品规格: |
不限 |
产品数量: |
1.00 台 |
包装说明: |
不限 |
价格说明: |
不限 |
查看人数: |
487 人 |
本页链接: |
http://wayesvac.cn.b2b168.com/shop/supply/63386628.html |
公司编号: |
14236924 |
更新时间: |
2024-04-28 09:15:38 |
北京维意真空技术应用有限责任公司
设备用途:
用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
设备组成
系统主要由溅射真空室、永磁磁控溅射靶(3个靶)、单基片加热台、直流电源、射频电源、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。
技术指标:
1. 极限真空度6.7×10-5Pa; 分子泵满速1小时后真空度达到4×10-4Pa;
2. **高真空磁控靶:有效尺寸3英寸,数量:3支,永磁靶(自带侧开挡板),水冷;
3. 靶基距120-200mm可调,用光轴加直线轴承导向,可手动连续调节,有刻度指示;三靶共溅射,靶可摆角度,角度为0~45℃;
4. 样品加热:采用碘钨灯加热方式对样品进行加热,样品较高可加热400℃;
5. 磁控溅射样品有效尺寸:Φ60mm,一次只镀1片;镀膜时样品架实现自转,自转转速为0~50转/分;样品加负偏压0-200V可调;
6. 气体控制:气体流量通过两路质量流量控制器控制,流量范围为:0~50 sccm;
7. 系统带有手动控制功能,主要实现样品的加热控制;样品的旋转控制;磁控靶档板的控制;真空度的采集。
欢迎来到北京维意真空技术应用有限责任公司网站,我公司位于拥有6项*遗产,拥有文化遗产项目数较多的城市,一座有着三千余年建城历史、八百六十余年建都史的历史文化名城,拥有众多历史名胜古迹和人文景观的中国“八大古都”之一 —北京。 具体地址是
北京密云西田各庄雁密路99号601室-819,负责人是杨利佳。
主要经营北京维意真空技术应用有限责任公司提供高真空磁控溅射镀膜机和小型桌面型磁控溅射镀膜机,热蒸发镀膜机分为电阻热蒸发镀膜机和有机蒸发镀膜机,高真空和手套箱一体机也是可以提供的。真空电极法兰分为真空航插电极法兰、USB真空电极、HDMI真空电极、热电偶真空馈通法兰、陶封电极法兰、BNC真空法兰、sma真空法兰、光纤真空馈通法兰等。。
单位注册资金单位注册资金人民币 250 - 500 万元。