洁净室净化工程、洁净室、清阳净化系统工程 查看

以下几点体现出无尘车间工程中央空调的重要性：

1、调度空气的变换制冷变高：

     中央空调工程为了控制在零件的操作过程中工作的平衡功用，在排水的设备运用中增加了蒸汽过滤的液压吸收不热的表象，所以在制冷的工作变换中需求守时的收拾电扇叶的工作，在恰当的过程中还需求变换冷热的控制诀窍。

2、风速系统的调度处理：

     在蒸汽的系统过滤的运用中能提高了健康的空气中减少了细菌繁殖，构成了人体的呼吸过程中发生排风管道循环运用的表象，增加了在各种制冷的系统处理中蒸发过滤的技术交流的流通量，促进了在制冷的风力大的特征。

3、高温的翻滚制冷的机械吸收程序：

     中央空调工程在控制的蒸汽设备的翻滚中能提高了过滤吸收的蒸发气压较大的状况，改进了在工作的紧缩气流的运用中减少了机械翻滚不灵敏的状况，能改进了空调的翻滚风力较大构成头疼的表象出现。

4.1AMC的分类及控制要求情况

AMC作为IC工厂所关心的问题于20年前较xian由日本人提出，昆山洁净室洁净厂房，近年来，IC生产园片直径已达φ300mm，工艺加工尺寸（线宽）已小于0.15μm，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，因此，AMC的控制已由谈论转到需要实施。

对于IC生产，洁净室净化工程，AMC分为A、B、C、D四类，即：

A——酸性物质，洁净室，如Hcl等；

B——碱性物质，如NH3等；

C——沸点**室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑；

D——掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如砷、硼、磷等。

AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，昆山洁净室净化工程，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料（化学品、特种气体等）在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于300多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。因此，IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1000pptm间。

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