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无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室。
洁净室之定义:洁净室(Clean Room),无尘车间承接,亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。
(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,深圳无尘车间承接,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,无尘车间承接事项,不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)无尘车间并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;即属此类。