佛欣真空 图 、反光杯真空镀膜机、白坭真空镀膜机

离子镀膜与蒸发镀膜和溅射镀膜在原理和工艺上相比较，具

有如下几个**的特点：

（１）黏着力好，镀层不易脱落：这是因为离子轰击会对基片产

生溅射作用，使基片不断地受到清洗从而提高了基片的黏着力，同

时由于溅射使基片表面被刻蚀而使表面的粗糙度有所增加。离子

镀层黏着力好的另一个原因是由于轰击的离子所携带的动能变为

热能，从而对基片表面又产生了一个自加热效应，这就提高了基片

表面层组织的结晶性能而促进了化学反应和扩散作用。

将样品置于密闭的反应器中，外面的加热炉保持所需要的反

温度（７００～１１００℃）。ＴＩＤ由Ｈ２载带，途中和ＣＨ４（或Ｎ２等）混

，再一起涌入反应器中。反应中产生的残余气体在废气处理装

中一并排放掉，白坭真空镀膜机，反应在常压或６６６６１～１３３３２２Ｐａ（５０～１００托）

低真空下进行，通过控制反应器的大小、反应温度压力和气体的

２

组分等，得到较1佳的工艺条件。

上述方法与其他的液相、气相外延生长方法相比较具有如下

：

（１）生长温度低，因而可做成突变结，全自动真空镀膜机，也可做成缓变结。

（２）生长速度慢，反光杯真空镀膜机，可以任意选择，可以生长**薄而平整的

。

（３）在生长过程中，同时可精1确地控制生长层的厚度、组分和

分布、生长的表面和界面具有原子尺度的平整度，结合适当的

，可以生长二维和三维图形结构。

（４）在同一系统中可以原位观察单晶薄膜的生长过程，进行

、生长的机制分析研究，也避免了大气污染的影响。

佛欣真空(图)、反光杯真空镀膜机、白坭真空镀膜机由佛山市佛欣真空技术有限公司提供。佛山市佛欣真空技术有限公司（）为客户提供“真空镀膜设备,离子镀膜电源”等业务，公司拥有“佛欣”等品牌。专注于行业**设备等行业，在广东 佛山 有较高**度。欢迎来电垂询，联系人：洪经理。