气体管路工程|气体管路| 技术精湛

洁净气体管路施工

       洁净气体管道中所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到仪器用点(POU)，为了达到仪器对气体的质量要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并注明管道材质洁净气体管路的材质则依使用的需求进行选择，316L BA管常使用于和芯片接触但不参与过程反应的气体。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性大大降低。

高压管道工程施工

      高压管下料

      用于加工的高压管子必须经过验收检查合格，并具有“高压管子验收检查登记表”。高压管下料应用机械方法切割（如锯割、砂轮切割等），工业气体管路安装，不允许采用气割或电焊切割，气体管路工程，所有管子在切断后均应在无钢号编号的管子上打上原有钢号编号。

      弯管加工

      高压管煨弯可采用冷弯和热弯。冷弯时，不进行热处理。采用热弯时，由于对管子的加热，会引起管子力学性能的变化。为防止热弯时渗碳、渗硫，热弯加热宜采用木炭，不得用煤或焦碳，且需要进行热处理。高压管弯曲好后，气体管路，应再次进行无损探伤，高压管弯曲的尺寸偏差应符合设计和相关标准规定：弯曲管全部加工完后，应填写“高压管子加工证明书”