高温扩散炉,合肥日新 在线咨询 ,福州扩散炉

扩散炉的保养与维护

①恒温区校准周期，炉子恒温区调好以后，高温扩散炉，不是频繁连续工艺，可两个月校准一次，连续工艺，真空扩散炉供应，一个月校准一次。

②炉体保温在隔一天以上的工艺之间，炉温一般为450℃～650℃保温。

③设备工作环境应长期保持清洁、干燥、无污染。

④设备长期不用时，每隔一星期通电运行一次，防止器件受潮失效。更换损坏元器件时，应尽量采用规格、型号相同的器件。温控仪等关键器件不得采用替代品。

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，福州扩散炉，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。

控制系统:控制部分包括：温控器、功率部件、**温保护部件、系统控制。系统控制部分有四个独立的计算机控制单元，分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控制中心。

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