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3、立式自旋转电火花线切割机。 立式回转电火花线切割机的特点与传统的高速走丝和低速走丝电火花线切割加工均有不 同,首先是电极丝的运动方式比传统两种的电火花线切割加工多了一个电极丝的回转运动;其 次,金刚石砂线切机切割石墨,电极丝走丝速度介于高速走丝和低速走丝直接,速度为 1~2m/s。由于加工过程中电极丝增 加了旋转运动,所以立式回旋电火花线切割机与其他类型线切割机相比,区别在于走丝 系统。
金刚石单线锯机在切割硅棒
北京电科45所研制的一款JXQ-401金刚石单线切割机,金刚石砂线切机切割红宝石,只是规格太小(110 ×110mm),金刚石砂线切机,若加以放大至300×300mm,金刚石砂线切机切割玉石,即可用于单晶硅切割。该机工件夹持 装置设计为6度的摆动机构,保证切割线与工件接触长度均匀,提高切割效率 和晶片质量。 JXQ-401金刚石单线切割机主要技术性能 1. 切割晶体大尺寸: 2. 切割线大线速度: 3. 工作台进给速度: 4. 摆动角度: 110×110mm 1000m/min 0.001-0.4mm/s 6?
75. 切片厚度误差: 6. 晶片表面粗糙度:
TTV≤25μ m Ra≤ 1.6μ m